




電子工業(yè)用氣體統(tǒng)稱電子氣體,指在半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中所用到的高純度氣體,是微納電子制造國家安全戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵支撐材料,其廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、液晶顯示器、多晶硅和薄膜太陽能電池、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件以及光纖通訊器件等電子行業(yè)。
近年來,隨著微納電子先進制程向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發(fā)展,對電子氣體的純度和一致性要求越來越高,除了應(yīng)具有5 N (99.999%)以上純度,特種氣體出售,還要求電子氣體中的H2O、氣體雜質(zhì)(如O2、CO2、CO、CH4等)和金屬雜質(zhì)(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指標達到ppb (10?9)至ppt (10?12)數(shù)量級,氣體的品質(zhì)要求高度穩(wěn)定且一致。

在半導(dǎo)體制造過程中涉及的材料眾多,在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。半導(dǎo)體特種氣體的下游是半導(dǎo)體晶圓制造廠商,終下游市場是智能手機、平板電腦、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能硬件等構(gòu)成的電子產(chǎn)品市場。近年來,除了以智能手機、平板電腦為代表的新興智能電子產(chǎn)品帶來的巨大的出貨量,更加前沿的高科技領(lǐng)域如物聯(lián)網(wǎng)和人工智能越來越成為主流趨勢。

氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟基礎(chǔ)工業(yè)之一,特種氣體生產(chǎn)廠家,覆蓋社會生產(chǎn)的各個領(lǐng)域,受益于國民生活,牽動著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。隨著中國經(jīng)濟的快速發(fā)展,特種氣體在國民經(jīng)濟中的重要地位和作用日益凸顯。主要體現(xiàn)在煉油行業(yè)、冶金行業(yè)、電子器件、環(huán)保產(chǎn)業(yè)。在冶金工業(yè)中,氫氣主要用做還原氣,以便將金屬氧化物還原成金屬。
據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計,天津特種氣體,目前我國特種氣體年銷售額中,電子行業(yè)約占40%,石油化工約占40%;醫(yī)1療環(huán)保約占10%,特種氣體哪家好,其它約占10%。以電子氣體為例,電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體。隨著我國高新技術(shù)、新型能源、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件的迅猛發(fā)展,將帶動電子特種氣體的發(fā)展。

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